電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀 ICP采用的晶體管固態(tài)高頻發(fā)生器，是目前商品化ICP光譜儀中，體積Z小、重量Z輕的發(fā)生器。霧化效率高，達到65%。所以，載氣可以用工業(yè)氬氣（99.95%），而無需使用高價的高純氬氣（99.999%）。